测量MEMS微机构的动态特性和形貌
在微机电系统（MEMS）等微结构的测试与研发进程中，表面形貌分析以及动态特性解析与可视化发挥着极为关键的作用。这些技术对于验证有限元计算结果、判定串扰效应以及精准测量表面变形而言，堪称不可或缺的重要手段。MSA-600 显微式激光测振仪作为一款集多功能于一体的光学测量工作站，能够精准表征表面形貌以及面内和面外振动特性。
MSA-600-M/V 的测量频率可达 25MHz，特别适配于微机电系统、微机电系统麦克风及其他各类微系统。而 MSA-600-X/U 的测量频率可达2.5 GHz，对于高频微机电系统谐振器、声表面波（SAW）、体声波（BAW）等微声学器件以及更多相关器件的评估工作，无疑是理想之选。
首演：
MSA-600-S 作为一款专业级光学测量工作站，专用于高达 8 GHz的微器件的实时振动分析以及表面形貌测量。它堪称测试薄膜体声波谐振器（FBAR）、体声波（BAW）滤波器、表面声波（SAW）器件等 GHz 级微机电系统（MEMS）的理想之选 。
亮点
//- 专用于显微结构的一体化光学测量工作站
- 真正的实时测量（无需数据后处理）
- MSA-600-M/V 型测试频率高达25 MHz
- MSA-600-X/U 型测试频率高达2.5 GHz
- 新的 MSA-600-S 型测试频率高达8 GHz
- 亚pm级的位移分辨率
- 快速测量，振型可视化
- 操作简便、直观
- 自动化测试系统，易于集成至探针台
- 用于FE模型验证的导入/导出功能（选配）
基于MEMS系统的一体化光学测量解决方案
基于MEMS系统的MSA-600显微式激光测振仪，集多种测量功能于一体，极大地提升了测量的灵活性与精准度，足以从容应对当下以及未来微结构的多样化测量需求。它能够精准输出三维动态及静态响应数据，不仅能显著增强器件性能，还可有效削减开发与制造成本。借助这些优势，它能够优化并大幅缩短设计周期，简化故障排查流程，显著提高良品率。
这款仪器搭载的高性能激光多普勒测振仪，响应速度极快，能够实时进行测量，位移分辨率可达亚 pm 级，其配备的白光干涉仪选件更是表现卓越，短短数秒内就能获取数百万个三维表面形貌数据点。MSA-600 操作流程简洁，用户界面设计直观，在科研、产品开发（R&D）以及质量控制（QC）等诸多领域，都是极具实力的光学测量解决方案。该微系统分析仪可与常见的探针台无缝兼容，在 MEMS 从原型制作到测试、故障排查的整个开发过程中，都能提供有力支持，助力您有效降低生产成本，大幅缩短产品推向市场的时间。
专门针对MEMS的8 GHz测试解决方案
全新推出的专业的光学测试工作站MSA-600-S终于和用户见面啦！MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试，最高频率高达8 GHz!是用于研发GHz设备、质量控制过程中的参数评估、以及测试器件性能和可靠性的不二之选。MSA-600-S可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。
晶圆级和单模测试
附件和选配件
A-MOB-xxxx Bright Field Objectives
For out-of-plane and in-plane vibration measurement. Available magnifications: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x and 3.6x, 10x for large working distances.
A-STD-TST-01 Test Stand
Test stand providing ample workspace. With motorized z-axis, travel range 200 mm.
A-STD-BAS-02 Base Stand
Rigid support for the sensor head. Includes manual focus block with 100 mm travel range with coarse and fine drive. Interfaces to commercially available optical tables.
A-STD-F50 Focus Block
Travel range 50 mm. With coarse and fine drive for manual z-axis adjustment of the sensor head. Interfaces with commercially available wafer probe stations.
A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table
Air-damped vibration isolation table with active level adjustment. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table
Electronically controlled voice coil stabilization for highest isolation performance. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-BBO-ME02 Breadboard
Breadboard with metric hole pattern. Footprint 900 mm x 600 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard
Electronically controlled for highest vibration isolation performance. With metric hole pattern. Footprint 600 x 800 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-ESG-001 External Signal Generator
For high frequency, broadband sample excitation. Remotely controllable by PSV Software.
A-SPK-0008 Wafer Prober Module
Together with the A-PST-200P XY Positioning Stage, the wafer prober module forms a motorized platform for electrical contacting and high-precision measurement of wafers and substrates up to 200 mm in diameter.
A-SPK-0010 Vacuum Prober Module
Vacuum and purge lines. Micro manipulator for handling of four electrical probes.
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