小零件及微结构的全场振动测量
MSA-060显微式激光测振仪是一款紧凑型光学测量系统,用于全面评估MEMS和微系统的振动特性、精密机械动力学和电子产品的可靠性。 这个入门级解决方案有助于用户获取被测器件的共振频率,振动幅值,甚至可视化整个样品的振型。
MSA-060专为非接触式全场振动分析而设计,捕捉从极小到的中型尺寸结构的真实振动特性。 强大的数据采集VibSoft-PRO提供参考通道和信号发生器通道。 用户还可选配xy定位台,通过平台移动来实现扫描测试,实时测试带宽覆盖DC~24MHz,分辨率达皮米级。
亮点
//- 紧凑的高精度激光振动测试系统
- 实时响应频率高达24 MHz
- 面外振动位移分辨率达皮米级
- 集成的高清摄像机,易于进行测试参数设置和测试数据存档
- 强大的数据采集系统,包括参考通道和信号发生器通道
- 全自动 xy定位台,可进行扫描测试
- 软件功能强大,能进行综合数据分析和显示振型动画
激光测振仪关注微小细节
Polytec激光测振仪使用激光作为探测手段,无附加质量影响,带宽覆盖DC~GHz,非接触式测量生物医学样品、电子元件和微结构如MEMS等精密结构的振动、声学和动力学特性。Polytec激光测振仪可获取样品的频率响应并确定共振频率、脉冲响应和阻尼特性等,它可获取更多振动细节,振型可用于模型验证。 无论样品多大或多小- Polytec激光测振仪都是您的最佳选择!
多功能,带显微镜头的模块化激光测振仪
专业数据采集系统的工作频率高达24 MHz,包括参考信道和信号发生器通道,还可独立使用。 MSA-060作为显微式激光测振仪的入门款,可配备不同放大倍数的显微镜头,专为非接触式全场振动分析而设计,能捕捉从极小到的中型尺寸结构的真实振动特性。集成的高清彩色摄像机及同轴照明单元,确保最佳实时视频显示并简化扫描网格的定义,易于进行测试参数设置和测试数据存档。最后,由Polytec自主研发的软件对数据进行全面的分析和评估,可视化测试结果和显示振型。




Downloads
附件和选配件

VIB-A-10xLENS 10x Microscope Lens
Providing a laser spot diameter of 3 μm at 37.3 mm stand-off distance.

VIB-A-20xLENS 20x Microscope Lens
Providing a laser spot diameter of 1.5 μm at 21.7 mm stand-off distance.

VIB-A-510 Illumination Module
LED light source providing a coaxial illumination of the test object. Highly recommended for use with the VIB-A-10xLENS / VIB-A-20xLENS Microscope Lenses.
A-JST-0001
Joystick for convenient manual control of the xy-positioning stage.
相关产品

MSA-650 IRIS 显微式激光测振仪
Polytec全新的最先进的且已获得专利技术的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪,是目前世界上唯一能透过硅封装结构(无需拆除硅帽)获取硅器件面内和面外动态特性的系统,测试带宽覆盖DC~25 MHz。

MSA-600 显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪专为 MEMS 及显微结构测量而打造,是一款能够获取三维静态与动态特性的一体化光学测量解决方案。它在加速产品开发流程、优化产品质量控制方面表现卓越,甚至可集成至商用探针台,用于晶圆级测试。目前,该仪器的性能已提升至高达 8 GHz。

MSA-100-3D 显微式激光测振仪
3D显微式激光测振仪同时记录XYZ三个方向的振动分量,测试带宽覆盖DC~25 MHz,每向的振幅分辨率均达到亚皮米级,可用于面内和面外振动测试。

PSV 软件
PSV 软件作为每一套 Polytec 全场扫描式激光测振仪测试系统的核心组件,功能极为强大,同时操作简便。它能够快速完成振动测试数据的采集、显示与编辑工作,并且在所有 PSV 扫描式激光测振仪中均已预先安装。此外,PSV 软件的应用范围广泛,还适用于所有 MSA 显微式激光测振仪,以及基于工业机器人的自动化测振站 RoboVib® ,为各类振动测量工作提供了统一且高效的软件支持平台 。

VibSoft
VibSoft是一个全面且易于使用的振动数据采集和分析软件包。VibSoft缩小了原始信号采集和振动测量数据深度分析之间的差距,为激光测振仪提供最佳性能。
